| 產品名稱： | AlN on Si |
| 直徑inch： | 2、4 可定制 |
| 基底材料： | 500±10um |
| 單價： | 1000.00元/片 |
| 發貨期限： | 自買家付款之日起 天內發貨 |
| 所在地： | 福建 廈門 |
| 有效期至： | 長期有效 |
| 發布時間： | 2024-03-05 21:19 |
| 最后更新： | 2024-03-05 21:19 |
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硅基氮化鋁：
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產品名稱 | AlN on Si |
基底材料（Substrate） | 500±10um Si(100) |
直徑（inch） | 2、4 可定制 |
AlN外延厚度（Thickness） | 50~200nm |
晶面取向（Orientation） | c-aixs [0001] |
表面粗糙度（nm）(5x5um) | Ra < 1nm (200nm) |
HRXRD半高寬(°) @（0002） | ＜1.5° |
總厚度變化(TTV) | ＜ 7um |
翹曲度(Warp) | ＜30um |
彎曲度(Bow) | -10 ~15um |
包裝（Packaging） | 單片/多片晶圓盒 |